sui着信息产业技术de发展,许多电子性能、zhi量de提高和生产过程de微细化,越来越yao求生产环境具有yi定dekongqi洁净度和环境de控制。目前国na还没觴ing硑ide电子dekongqi洁净度等ji或生产环境控制yao求de统yi规定,所以yi般shiyi据《洁净厂房she计规范》(GB50073-2001)以ji电子de生产厂家实际jing验等来确定电子厂房de洁净度等ji和温湿度deyao求。
表1为《洁净厂房she计规范》中对kongqi洁净度de规定。电子对于洁净室na温度、湿度以ji二ci冷冻de水温均有极为严格deyao求。需对电子净化厂房de环境zhuangkuang进行实时jian测与控制,如《洁净厂房she计规范》中规定liao洁净室na温度yao求在23℃±1℃和21℃±1℃、洁净室na湿度为50±3%和45±3%、二ci冷冻水水温应gai在14℃±1℃等。
电子厂房zhi能控制在满足控制环境温度、湿度、洁净度、de同时,可以有效节yue能源,冷热源de控制可以有效节yue能源、过滤器压力差de控制可以有效节yue风机消耗能源、据统计zhi能系统完bei有效de洁净电子厂房,yi般比简dan控制de洁净电子厂节yue能量10%以shang。
电子厂房洁净室自控系统tongchang包kuo:
1、 冰水主机冷冻水供回水温度jian测;冰水主机冷却水供回水温度jian测;
2、 冷冻水循环泵zhuang态jian测;冷却水循环泵zhuang态jian测;
3、 二ci冷冻水循环泵zhuang态jian测;二ci冷冻水温度控制;
4、 新风kong调箱出风温度、湿度控制;
5、 洁净室na温度、湿度、静压控制;洁净kongqi循环kong调箱出kou温度控制;